性能/參數(shù)

耐腐蝕抗腐蝕系列質(zhì)量流量計(jì)

流量范圍

0.5SCCM-5000SLPM

可自行修改流量單位如kg/h、g/min等

標(biāo)定氣體

內(nèi)置130條氣體可選擇

含腐蝕氣體(如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等)

精度(調(diào)零后)

±(0.8%Rd+0.2%FS)

高精度(調(diào)零后)

±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM

重復(fù)性

±0.2%FS

漂移(零點(diǎn)/滿(mǎn)量程)

0.02% F.S/ºC/Atm

工作范圍

0.5-

響應(yīng)時(shí)間

10毫秒(調(diào)整)

啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間

1秒內(nèi)

標(biāo)準(zhǔn)工況

25ºC & 14.696 psia，可自定義修改

工作溫度范圍

-10~-50℃(另有高溫訂制品)

工作濕度范圍

0-RH(非冷凝)

大工作壓力

10Bar

大壓差

5Bar

安裝方向

任意

閥門(mén)狀態(tài)

常閉

材質(zhì)

SUS316L不銹鋼、密封圈FFKM(Kalrez)

顯示屏

背光LCD顯示屏，同時(shí)顯示流量、壓力、溫度

數(shù)字信號(hào)

標(biāo)準(zhǔn)RS232

選配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet

以太網(wǎng)RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)

模擬信號(hào)

標(biāo)準(zhǔn)0-5V/1-5V/0-10V

選配:4-20mA

第二路模擬信號(hào)

標(biāo)準(zhǔn)0-5V/1-5V/0-10V

選配:4-20mA

電氣接口

標(biāo)準(zhǔn)圓形8芯

選配:圓形6芯、DB9、DB15

供電電壓

+24VDC

消耗電流

100mA大